首先基于HTML 4在XML中的再次闡述，結果產生了XHTML1.0。隨著XHTML1.0規范的附錄C發布的HTML Compatibility Guidelines（HTML兼容性指導），使XHTML1.0文檔一致的存在于HTML用戶代理。

接下來一步，為了便于在文檔中集成使用，模塊化了元素屬性，通過整合XHTML和其他標記集合。這個模塊在 Modularization of XHTML一文中規定。XHTML Basic是在這些模塊中公認的最小架構及目標是移動應用程序開發方向的一種語言。

XHTML1.1是大型架構模塊的一個實例，消除了許多表現層的特征。雖然XHTML1.1看起來非常類似于XHTML 1.0 Strict，但他被計劃用來充當將來擴展XHTML家族系列文檔類型，以及其模塊設計使他更輕易的增加其他必須模塊或將其本身整合到其他標識語言中去。XHTML 1.1 plus MathML 2.0 文檔類型是類似XHTML家族系列文檔類型的一種。

XHTML2.0是打算給豐富的，可移植的基于web的應用程序使用的。雖然XHTML的祖輩來自HTML 4, XHTML 1.0,和XHTML 1.1,但并不打算同早先的版本進行向后兼容。他是作為Modularization of XHTML中規定的一種XHTML宿主語言。同樣的，他由一系列XHTML共同描述語言的元素和屬性，及他們的內容模型的模塊組成。XHTML 2.0更新了定義在Modularization of XHTML的許多模塊,及包含了所有那些模塊及語義的更新版本。XHTML2.0也使用來自Ruby, XMLEvents,和 XForms的模塊。